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等离子工业废气净化器净化原理是利用特制的高能高臭氧的UV紫外线光束的照射有机废气与TIO2光催化。催化裂解有机废气，如二氯丙烷乙、酯、异丙酯、氮、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯等分子结构链条。等离子工业废气净化器使有机或者无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线的照射下，降解转化为低分子化合物，如CO2,H2O等。
等离子工业废气净化器的高能UV光束能有效裂解有机废气中的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），然后通过臭氧进行氧化反应，以达到有机废气处理的目的。
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